是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，随着国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测（特别是微电子技术）的发展，特种气体成为工业气体市场规模增长新动力，广泛应用于半导体、LED、光纤光缆、医药等新兴行业。
特种气体主要包括电子气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等，其中，电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，主要包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等，是下游行业关键性化工基础材料，被誉为电子产业的“粮食”和“源”，现有单元特种气体260余种，可配制成25000多种混合气体。
首先，生产特种气体需要经过多项工艺技术和流程的加工，且客户要求高，新进入者很难达到一定水平；其次，下游客户，特别是极大规模集成电路、新型显示面板等精密化程度非常高的下游产业，对气体供应商的选择非常严格，具有长认证周期和客户粘性；此外，气体公司需要投入大量人力物力进行铺点建设，不断扩大营销服务网络，并随着营销服务网络的完善不断促进市场开拓与客户挖掘，从而对潜在进入者提出较高的要求；再者，客户希望供应商能够提供一站式用气服务，且具有多品种、小批量、高频次的特点，对气体公司综合服务能力和配送能力要求较高，而这些需要企业具备深厚的行业积淀以及深刻的行业理解，对新进入者形成了较高壁垒；最后，工业气体属于危险化学品，在其生产、储存、运输、销售等环节均需通过严格的资质认证，部分特定用途的特种气体还需要另外经过专项严格审核才可取得相应用途的产品经营资质。
中国特种气体于20世纪80年代随着电子行业的发展而逐渐兴起，虽然发展迅速，但如今国内厂商特气产品与国外相比仍较单一，且级别不高。在我国集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等高端领域，海外大型气体公司占据了80%以上的市场份额，尤其在极大规模集成电路、新型显示面板等尖端应用领域，存在较大的进口替代空间。近年来，随着国内特气行业的经验积累、技术进步和政策影响，已逐步实现部分产品的进口替代，预计未来在国内产业升级过程中需要大量使用特种气体，且其原料在国内较容易获得，因此传统的国外公司生产及进口销售的模式已跟不上国内特种气体大规模生产的步伐，预期中国的特种气体会大量国产化。
